光計測用高機能光学系・光計測システムソリューション

光応用計測・検査装置　専用用途光計測検査システム

焦点位置・ビームウエスト計測装置

製品の概要
焦点位置・ビームウエスト計測装置

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焦点位置・ビームウエスト自動計測装置は、NFP計測装置と高精度自動位置決めステージの連動により、集光レンズやレンズ付きLDモジュール・ファイバモジュールの焦点位置やビームウエストを自動計測する装置です。

検出器の選択により、400～1100nm帯、950～1700nm帯の各波長帯における計測に対応可能です。

本装置には、専用の焦点位置自動計測ソフトウエアが装備されています。本ソフトウエアによりNFP計測とステージの連動制御を行い、ビーム焦点位置の自動計測を高精度かつ迅速に行うことができます。

焦点位置・ビームウエスト計測装置の計測方式

焦点位置・ビームウエスト計測

焦点位置計測装置は、電動ステージを使用してフォーカス方向に光学系またはサンプルを移動させて、各ピント位置でのビーム形状・ビーム幅を連続して計測を行い、基準位置からビームスポット径が最小になる点までの距離を算出、集光位置を求めます。

基本的な測定は以下の手順・プロセスで実行します。

  1. 画像検出器の画像から、焦点位置計測の基準となるレンズの端面等にピントをあわせます。ピント合わせはオートフォーカス（またはマニュアル操作）により行います。
  2. 電動位置決めステージを制御し、光学系またはサンプルを焦点方向にマイクロステップで移動します。
  3. 電動位置決めステージの各移動位置での光ビーム画像を連続で取得します。
  4. 3.で取得した画像を処理し、電動位置決めステージの各移動位置での光ビーム径を計測します。
  5. 電動位置決めステージの各移動位置でのビーム径を解析して、集光位置を計算します。

製品の特長

  • 画像処理方式＋高精度電動位置決めステージシステムの連動により光モジュールの焦点位置・ビームウエストを高精度測定
  • 光検出器の選択により、可視域から近赤外域までの測定に対応可能
  • 専用の焦点位置計測ソフトウエアにより、ビームウエスト近傍でのビーム形状や、ビームの長径・単径比や非点隔差等の計測解析にも応用可能。

製品の主な応用

  • マイクロレンズや各種レンズモジュールの焦点位置・ビームウエスト計測
  • 各種LDモジュールやファイバモジュールの焦点位置・ビームウエスト計測

主な計測項目

  • 各種光モジュールの焦点位置計測
    • 基準点からの焦点位置
    • 焦点位置でのスポット径（X軸幅、Y軸幅、平均幅）
  • 各ポイントでのスポット径（X軸幅、Y軸幅、平均幅　または　長径幅、短径幅）とビーム形状計測

製品の構成・コンポーネントセレクション

装置の構成図
装置の主な構成品
  • 高機能NFP計測光学系部
  • 検出器
  • 光学系設置架台
    • 横置き型光学系設置架台
    • 縦置き型光学系設置架台
  • 電動位置決めステージ部
    • 電動XYZ軸ステージシステム（サンプル側または光学系側）
    • その他、各種電動位置決めステージシステムとの組合せ構成・仕様に対応致します。
  • サンプルステージ部
    • サンプルホルダ
    • サンプル位置調整用ステージシステム
  • 装置電装制御システム部
    • データ処理・システム制御用コンピュータ
    • オペレーション用PCモニタ
    • 焦点位置計測ソフトウエア
    • 電動ステージ制御部
  • 周辺機器・付帯設備
    • 装置カバー付防振台
    • システムラック
    • その他付帯設備
  • 焦点位置計測装置は、カスタム仕様製品です。お客様のご要求仕様に合わせたシステム構成・ステージ選定・ソフトウエア処理をご提案します。

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