光応用計測・検査装置 専用用途光計測検査システム
光導波路光学特性測定装置
製品の概要
光導波路光学特性測定装置
光導波路光学特性測定装置は、光導波路デバイスの挿入損失・NFP・FFP・偏光などの光学特性を測定する装置です。シリコンフォトニクス導波路やシングルモード光導波路、マルチモード光導波路等各種光導波路デバイスの挿入損失を自動測定、さらに最適調芯点でのNFPやFFP等発光パターン計測や偏光消光比計測等の光学特性測定が可能です。
調芯方式は、当社の入射側・出射側光計測用光学系を使用した光学系方式を使用します。画像検出器による画像調芯と光パワーメータによるパワー調芯の連動方式により、サンプルの傾き補正、初期調整、自動調芯による挿入損失測定までを効率よく高速に行うことができます。
さらに、自動調芯により求められた最適調芯点を記憶し、最適調芯位置における出射側NFP、FFP、偏光等の光学諸特性を連動して効率よく計測することができます。
製品の特長
- 当社製偏光依存性対策型簡易型光計測用光学系 M-Scope type J/PFを搭載した、光学系方式挿入損失測定
- コア端面同軸観察用画像検出器を搭載。対象物を直接観察しながら測定光の入射・出射光の受光が容易に可能。
- 偏光依存性対策光ファイバ接続ポートを採用。偏光の影響をキャンセル。
- 対物レンズの交換・選択が可能。赤外用、高分解能対物レンズの選択が可能。
- 最大100倍の高倍率観察が可能。
- 赤外対物レンズ（NIRレンズ）・高倍率対物レンズ（HRレンズ）の選択が可能。
- 自動調芯機能と光ビーム計測機能の連動により、光導波路出射ビームのNFP・FFP・偏光消光比などの光学諸特性を自動測定
- 調芯・損失測定・NFP測定には、偏光対策型高機能光計測用光学系 M-Scope type I/PFを使用
- FFP測定には、FFP計測光学系 M-Scope type Fを使用
- 偏光消光比計測には、偏光測定モジュール PMD002/POLを使用
- 専用の画像処理・自動調芯ソフトウエアによる画像調芯・パワー調芯連動。電動位置決めステージとの組み合わせにより、画像処理・自動調芯による高速・高再現性・高効率測定が可能。量産検査にも対応が可能。
- 電動位置決めステージ・画像処理ソフトウエアを併用することにより、超微細導波路デバイスの高速・自動測定を実現。量産検査にも対応が可能。
製品の主な応用
- シングルモード・マルチモード光導波路の挿入損失自動・半自動測定
- シングルモード・マルチモード光導波路出射光ビームの観察や入出射端面状態の観察
- 自動調芯点での導波路出射光のNFP測定・FFP測定・偏光消光比測定
製品の構成・コンポーネントセレクション
装置の構成図
装置の基本構成例（光導波路光学特性測定（挿入損失測定・NFP測定・FFP測定・偏光消光比測定）の装置構成例）
- 入射側光学系
- 出射側測定用光学系・光学システム
- 偏光依存性対策型高機能光計測用光学系 M-Scope type I/PF
- 用途：挿入損失測定・NFP（ニアフィールドパターン）測定・端面観察
- FFP計測光学系 M-Scope type F
- 用途：FFP（ファーフィールドパターン）測定
- 偏光計測モジュール PMD002/POL
- 用途：偏光消光比測定
- 検出器
- 400~1100nm：高精度CMOS検出器 ISA071,ISA071GL
- 950~1700nm：InGaAs高感度近赤外検出器 ISA041H2
- 400~1700nm：InGaAs高分解能近赤外検出器 ISA041HRA
- その他の検出器も対応可能です。
- 電動ステージシステム（入射側・出射側・サンプル移動用）
- ステージ構成・選定は別途ご相談ください。
- 装置電装制御部
- 電動ステージ制御システム（モータコントローラ・ドライバ）
- データ処理装置（PC本体・I/F・周辺機器等）
- データ処理・計測ソフトウエア（システム全体制御、計測（自動調芯による挿入損失測定・光ビーム解析ソフトウエアとの連動によるNFP・FFPの自動測定、データ収集と管理、計測フロー・レシピ管理等）
- 安全対策集中電源ユニット
- サンプルホルダ・装置ベース・フレーム・ブラケット
- サンプルホルダ・サンプル保持部
- 装置設置ベース・装置フレーム
- 光学系・サンプル保持ブラケット
- アクセサリ・周辺機器・付帯設備
- 測定用機器（光パワーメータ等）
- 測定用光源（SLD光源・LD光源等）
- NFP計測やFFP計測などの光ビーム計測時は、干渉の影響が少ないSLD光源等の広帯域光源を推奨します。
- 装置カバー付防振台
- システムラック
- その他付帯設備
- 光導波路光学特性測定装置は、カスタム仕様製品です。お客様のご要求仕様に合わせたシステム構成・ステージ選定・ソフトウエア処理をご提案します。