光計測用光学機器と光計測システムのシナジーオプトシステムズ

製品の概要

光学系方式超微細導波路損失測定装置は、当社の光照射・受光計測光学系 M-Scope type Jを使用した、光学系方式の超微細導波路用挿入損失測定装置です。シリコンフォトニクス導波路や近接光学素子のような超微細構造を有する光導波路型デバイスの挿入損失の高速・高精度測定が可能です。

同軸観察カメラにより、被測定光導波路の入射側・出射側コア端面画像が直接観察できます。これにより、画像により測定光の入射・受光位置に直接位置決め可能で、測定光をダイレクトにコアに導入・また導波路からの出射光を受光することが可能です。

高倍率対物レンズ・電動ステージと画像処理・自動調芯ソフトウエアを使用することで、超微細導波路の挿入損失測定を高速かつ再現性よく効率的に実行可能です。

特長

  • 当社製小型汎用型光照射・受光計測用光学系M-Scope type Jを搭載した、光学系方式挿入損失測定
    • コア端面同軸観察カメラを搭載。対象物を直接観察しながら測定光の入射・出射光の受光が容易に可能。
    • 偏光依存性対策ファイバポートを採用。偏光の影響をキャンセル。
    • 対物レンズの交換・選択が可能。赤外用、高分解能対物レンズの選択が可能。
      • 最大100倍の高倍率観察が可能。
      • 赤外対物レンズ(NIRレンズ)・高倍率対物レンズ(HRレンズ)の選択が可能。
  • コア端面観察の最大光学倍率は100倍
    • 対物レンズの選択により、コア端面の観察倍率は、最大100倍を選択可能。シリコンフォトニクス導波路・シングルモード光導波路等微小コア光導波路の測定に対応。
  • 光ファイバ調芯方式と共役条件での挿入損失測定
    • 入射側は、光ファイバポートに接続した光ファイバのコア径を1:1でサンプル面に照射。
    • 出射側は、光ファイバポートに接続した光ファイバのコア径相当径を1:1でサンプル面から光ファイバにリレー。
    • 光ファイバ調芯方式と共役条件のため、さまざまな種類・コア径の光ファイバが使用可能。
  • 光ファイバを使用した光パワー測定の他、光スペクトラムアナライザや分光器との組み合わせによる波長計測も可能
  • 専用の画像処理・自動調芯ソフトウエアを準備。電動位置決めステージとの組み合わせにより、画像処理・自動調芯による高速・高再現性・高効率測定が可能。量産検査にも対応が可能。
    • 電動位置決めステージ・画像処理ソフトウエアを併用することにより、超微細導波路デバイスの高速・自動測定を実現。量産検査にも対応が可能。

応用

  • シリコンフォトニクス光導波路・近接光学素子等超微細構造光導波路挿入損失の全自動・半自動測定
  • シリコンフォトニクス光導波路・近接光学素子等超微細構造光導波路の出射光ビームの状態や端面状態の観察
  • シリコンフォトニクス光導波路・近接光学素子等超微細構造光導波路の光学伝播特性の解析

コンポネントセレクションと装置の構成

コンポーネントセレクション

装置の基本構成例(本装置は目的・用途により詳細仕様お打合せが必要となります)

オプション(本装置は目的・用途により詳細仕様お打合せが必要となります)

  • 対物レンズ
    • 対物レンズのセレクションはこちらをご参照ください。
  • NDフィルタ
    • NDフィルタはこちらをご参照ください。
  • 同軸落射照明装置
    • 同軸落射照明装置はこちらをご参照ください。
  • 測定用光源
    • 当社製LD光源・SLD光源
    • その他の光源
      • ASE光源等
  • 周辺機器
    • 装置カバー付防振台
    • 計測器ラック
    • 光測定器
      • 光パワーメータ等

関連製品情報

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